真空碳管燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過(guò)燒結(jié)獲得所需的物理、力學(xué)性能以及微觀結(jié)構(gòu)的設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機(jī)成分、完成鋁背場(chǎng)及柵線燒結(jié)。為了保證粉末壓坯在燒結(jié)過(guò)程中的脫蠟（潤(rùn)滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進(jìn)行，燒結(jié)時(shí)需要對(duì)燒結(jié)溫度、保護(hù)氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進(jìn)行的控制。
真空碳管燒結(jié)爐主要用于工業(yè)陶瓷、結(jié)構(gòu)陶瓷、金屬陶瓷、硬質(zhì)合金行業(yè)作為材料在氣氛和壓力條件下的燒結(jié)設(shè)備。系周期作業(yè)式電爐，它是以優(yōu)質(zhì)石墨作發(fā)熱體的高溫、高真空電阻爐，額定溫度為2000℃。在特殊需要的情況下，允許在保護(hù)氣氛中，短時(shí)間工作到2400℃-2500℃。可供金屬、難熔化合物及陶瓷材料等在真空或保護(hù)氣氛中加熱之用。
真空碳管燒結(jié)爐的安裝使用要領(lǐng)：
1、安裝：安裝真空燒結(jié)爐的場(chǎng)所應(yīng)符合真空衛(wèi)生的要求，周圍的空氣應(yīng)清潔和干燥，并有良好的通風(fēng)條件，工作場(chǎng)地不易揚(yáng)起灰塵等。
2、檢查控制柜中所有部件及配件是否完備、完好。
3、控制柜安裝在相應(yīng)的地基上，并固定。
4、安照接線圖，并參考電氣原理圖，接通外接主回路及控制回路，并可靠接地，保證接線無(wú)誤。
5、檢查電器可動(dòng)部分應(yīng)活動(dòng)自如，無(wú)卡死現(xiàn)象。
6、絕緣電阻應(yīng)不低于2兆歐姆。
7、真空電爐各閥門必須在關(guān)閉位置。
8、控制電源開(kāi)關(guān)放在關(guān)位。
9、手動(dòng)調(diào)壓旋鈕逆時(shí)針旋動(dòng)頭。
10、報(bào)警鈕放在開(kāi)位。
11、按平面圖完成設(shè)備的循環(huán)冷卻水聯(lián)接，建議用戶在設(shè)備總進(jìn)出水管處再接入一備用水（可用自來(lái)水），防止循環(huán)水有故障或斷電導(dǎo)致密封圈燒壞。
